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四探針電阻率測(cè)定儀使用注意事項(xiàng)
發(fā)布時(shí)間:2017-04-27瀏覽次數(shù):2447返回列表
導(dǎo)讀:四探針電阻率測(cè)定儀是用來測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量儀器。四探針電阻率測(cè)定儀的使用要注意以下事項(xiàng):
1、測(cè)試電源,電源電壓值應(yīng)該在220V左右,電壓偏差不得過2%,否則影響測(cè)試定標(biāo),偏差過大甚至?xí)p壞電路。(AC110V使用需要配備AC110V轉(zhuǎn)AC220V電壓轉(zhuǎn)換器)
2、接好測(cè)試線,測(cè)試線連接到儀器上時(shí),務(wù)必確保儀器上插座的凸起與測(cè)試線插頭的凹槽對(duì)應(yīng)好,并將螺圈旋緊。
3、接好電源線;上電,開關(guān)的電源燈點(diǎn)亮(若電源燈不亮,需要更換在后面板電源插頭處的保險(xiǎn)絲,規(guī)格為1A)。面板上數(shù)碼管p,n同時(shí)各閃下。每次開機(jī)后請(qǐng)測(cè)試下低阻樣片,檢測(cè)儀器是否正常。
4、將測(cè)試探針接觸待測(cè)的樣品:n點(diǎn)亮代表N型的半導(dǎo)體材料;p點(diǎn)亮代表P型材料;如果遇到兩個(gè)數(shù)碼管均不亮,般情況下為很低的電阻率(<10-2以下),此時(shí),蜂鳴器和紅燈應(yīng)處在報(bào)警狀態(tài)。
5、紅燈亮及蜂鳴器響時(shí)為設(shè)定的低電阻以下及重?fù)綀?bào)警。
6、出品時(shí),廠家按用戶要求定標(biāo),可選定標(biāo):0.1歐姆*厘米、0.2歐姆*厘米、0.3歐姆*厘米、0.5歐姆*厘米。
7、在測(cè)量時(shí),為確保探測(cè)致性,探針需垂直點(diǎn)在接觸面上,探針的大傾斜角度不應(yīng)過20度;探針探測(cè)時(shí)請(qǐng)勿用勁壓到底,以彈簧縮的限長度為限。探測(cè)時(shí),探針入針套3/4以上,這樣可以利用彈簧的力量使測(cè)量的致性良好。切忌:不能用蠻力將針使勁緊,使彈簧無法發(fā)揮作用。
8、在測(cè)量非平面材料時(shí),應(yīng)注意不要使探針歪曲變形。
9、如果遇到探針斷在針套內(nèi)的情況,請(qǐng)更換探針套(隨機(jī)帶來)。方法是將白色的探頭用工具輕輕拔出(注意:要輕輕拔出,否則可能將內(nèi)部連線拉斷)。去除熱縮管,將針套焊開,更換新的針套,用熱縮管保護(hù),插回白色的探頭。
10、由于回收硅料有各種類型, 此測(cè)試儀測(cè)量的結(jié)果可能會(huì)有所偏差;待測(cè)樣片需打磨之后測(cè)試。建議50個(gè)小時(shí)換次針。