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新聞中心
手持式四探針測(cè)試儀適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校
發(fā)布時(shí)間：2017-08-03瀏覽次數(shù)：1630返回列表
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測(cè)量范圍
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電阻率：0.01～1999.9Ω.cm； 方塊電阻：0.1～19999Ω/□； |
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恒流源
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電流量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電流連續(xù)可調(diào) |
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數(shù)字電壓表
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量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1%； 顯示：以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；性、超量程自動(dòng)顯示； |
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四探針探頭基本指標(biāo)
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間距：1±0.01mm； 針間緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
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(見探頭附帶的合格證) |
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模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) |
1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
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整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差
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(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5% |
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整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
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≤5% |
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外型尺寸
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185mm(長(zhǎng))*90mm(寬)*30mm(高) |
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重量
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350g |
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電源
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鋰電池，一次充電可連續(xù)使用100小時(shí)； |
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
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溫度：23±2℃； 相對(duì)濕度：≤65%； 無(wú)高頻干擾； 無(wú)強(qiáng)光直射 |
