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所在地:全國
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更新時間:2011-11-30
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(女士)
專用硅單晶/多晶中氧碳含量自動測量系統(tǒng)的氧碳含量技術(shù)參數(shù)符合(符合國家GB/T1557-2006)(符合國家GB/T1558-2009)
測試方法:把測量樣品用專用硅片固定架放入儀器樣品室,開始測量,計算機讀取1107CM-1,SI-O-SI帶特征吸收峰和607CM-1, C-SI帶特征吸收峰,由峰高法計算出硅單晶中氧碳含量. 測量硅片厚度:0.04-4.0MM, 硅片檢測下限:1.0X1016CM-3(常溫)