X射線熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大分元素，具體而言，從鈉元素到鈾元素都可以利用這種術(shù)行檢測(cè)分析。但是對(duì)于原子序數(shù)較低的元素，空氣會(huì)對(duì)檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生較大影響；由低原子序數(shù)元素產(chǎn)生的熒光值通常更低，并且樣品基體中的其它元素有可能會(huì)吸收低原子序數(shù)元素的能量輻射。在業(yè)及科研域，經(jīng)常需要對(duì)樣品行非破壞性的元素分析，同時(shí)對(duì)分析面積及靈敏度具有苛刻的要求，如RoHS分析，貴金屬檢測(cè)等通常情況下，用于提低原子序數(shù)元素的檢測(cè)靈敏度的方法主要為將儀器的樣品室抽成真空環(huán)境或者以氦氣沖洗樣品室。是種常用的光譜術(shù)，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測(cè)量等。那么該光譜儀的種類(lèi)中主要以哪種為主呢？

X射線熒光光譜儀有多種，主要以波長(zhǎng)色散和能量色散為主：
、波長(zhǎng)色散熒光光譜儀
此種儀器的靈敏度比能量色散的個(gè)數(shù)量，也就是說(shuō)，所測(cè)的數(shù)據(jù)并不存在“灰色地域”，不存在測(cè)定后還需拿到檢測(cè)機(jī)構(gòu)復(fù)檢。但儀器的價(jià)格比能量色散的貴很多，特別是口的都在百元以上，所以沒(méi)有外公司建議用。儀器操作和能量色散樣，不需要專(zhuān)業(yè)人員。 波長(zhǎng)型大優(yōu)點(diǎn)是用在原材料廠上，其測(cè)定的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確，給生產(chǎn)廠以確信的合格材料。 缺點(diǎn)是，波長(zhǎng)法需將被測(cè)材料粉碎壓制成樣本后測(cè)才準(zhǔn)確。所以，用在材料廠適合。如不制成樣本（非破壞），會(huì)因材料表面形狀不同而產(chǎn)生不同誤差。
二、能量色散熒光光譜儀 
能量色散型儀器大的優(yōu)點(diǎn)是不破壞被測(cè)的材料或產(chǎn)品，也不需要專(zhuān)業(yè)人員操作，缺點(diǎn)是對(duì)鉻和溴是總量測(cè)定（般不影響使用，因?yàn)楹芏嗲闆r可以判定，如測(cè)鉻總量超標(biāo)，常可知是不是六價(jià)鉻超標(biāo)，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標(biāo)就不合格）?？诨虍a(chǎn)的各種能量色散熒光光譜儀術(shù)水平雖有差別，但已夠應(yīng)對(duì)RoHS檢測(cè)，用戶應(yīng)根據(jù)自己的能力來(lái)選購(gòu)產(chǎn)或口的。

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