儀器性能

方阻測量范圍：1×10-5～2×106Ω/□，小分辨率1×10-5Ω/□；

電阻率測量范圍：1×10-6～2×105Ω·cm或1×10-8～2×103Ω·m，小分辨率1×10-6Ω·cm或1×10-8Ω·m；

探針壓力：25g～250g；

探針曲率半徑：25μm～450μm

（注：探針壓力及曲率半徑可根據(jù)薄膜材料性能及用戶需求定制）；

測試電流分7檔：1μA、10μA、100μA、1mA、10 mA、100 mA、1000 mA；

測試電壓：（1μA～10 mA檔）12～80V連續(xù)可調(diào)

           （100mA檔）    8～36V連續(xù)可調(diào)

          （1000mA檔）    8～15V連續(xù)可調(diào)；

測量方式：手動(dòng)或自動(dòng)（配置測試軟件）；

測量對象：導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、電力電容器鋁箔、各種金屬箔、銀漿涂層、鋰電池隔膜等各種電子薄膜；各種半導(dǎo)體材料的電阻率。