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FT-3110系列全自動四探針測試儀
一.功能描述：
四點探針法，全自動化運行測量系統(tǒng)，PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理；參照A.S.T.M 標準方法測試半導體材料電阻率和方塊電阻；可設定探針壓力值、測試點數(shù)、多種測量模式選擇；可顯示：方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值、提供標準校準電阻件. 報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析.
FT-3110系列全自動四探針測試儀
二.適用范圍
晶圓、非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；新型電極設計，如電鍍銅電阻測量等；半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
FT-3110系列全自動四探針測試儀
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規(guī)格型號 |
FT-3110A |
FT-3110B（可擴展） |
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1.電阻 |
10^-5～2×10^5Ω |
10^-6～2×10^5Ω |
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2.方塊電阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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3.電阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
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4.測試電流 |
0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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5.電流精度 |
±0.1% |
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6.電阻精度 |
≤0.3% |
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7.PC軟件操作 |
PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等 |
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8.壓力范圍（選購） |
探針壓力可調范圍：軟件控制,100-500g可調 |
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9.探針 |
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3% 銅鍍金或鎢鋼材質，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制 |
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10. 可測晶片尺寸 載臺選購 |
選購:載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 其他規(guī)格可定制 |
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11.分析模式 |
單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 |
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12.重復性 |
單點重復性：重復性≤0.5% |
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13.防護功能 |
具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 |
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14.電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<600W |
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