FT-3110系列全自動四探針測試儀
一.功能描述:
四點探針法,全自動化運行測量系統(tǒng),PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理;參照A.S.T.M 標準方法測試半導體材料電阻率和方塊電阻;可設定探針壓力值、測試點數(shù)、多種測量模式選擇;可顯示:方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值、提供標準校準電阻件. 報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析.
FT-3110系列全自動四探針測試儀
二.適用范圍
晶圓、非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量;選擇性發(fā)射極擴散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結擴散片;新型電極設計,如電鍍銅電阻測量等;半導體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽能電池,LCD,OLED,觸摸屏等.
FT-3110系列全自動四探針測試儀
規(guī)格型號 |
FT-3110A |
FT-3110B(可擴展) |
1.電阻 |
10^-5~2×10^5Ω |
10^-6~2×10^5Ω |
2.方塊電阻 |
10^-5~2×10^5Ω/□ |
10^-6~2×10^5Ω/□ |
3.電阻率 |
10^-6~2×10^6Ω-cm |
10-7~2×106Ω-cm |
4.測試電流 |
0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA, 10mA,100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
5.電流精度 |
±0.1% |
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6.電阻精度 |
≤0.3% |
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7.PC軟件操作 |
PC軟件界面:電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等 |
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8.壓力范圍(選購) |
探針壓力可調范圍:軟件控制,100-500g可調 |
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9.探針 |
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3% 銅鍍金或鎢鋼材質,探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規(guī)格可定制 |
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10. 可測晶片尺寸 載臺選購 |
選購:載臺晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm) 其他規(guī)格可定制 |
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11.分析模式 |
單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 |
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12.重復性 |
單點重復性:重復性≤0.5% |
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13.防護功能 |
具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 |
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14.電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<600W |

