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F-7600 多晶硅氧碳含量專用測(cè)試儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

專用硅單晶/多晶中氧碳含量自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)的氧碳含量技術(shù)參數(shù)符合(符合GB/T1557-2006)(符合GB/T1558-2009) 測(cè)試方法：把測(cè)

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產(chǎn)品說(shuō)明

專用硅單晶/多晶中氧碳含量自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)的氧碳含量技術(shù)參數(shù)符合(符合國(guó)家GB/T1557-2006)(符合國(guó)家GB/T1558-2009)

測(cè)試方法：把測(cè)量樣品用專用硅片固定架放入儀器樣品室，開(kāi)始測(cè)量，計(jì)算機(jī)讀取1107CM-1,SI-O-SI帶特征吸收峰和607CM-1, C-SI帶特征吸收峰，由峰高法計(jì)算出硅單晶中氧碳含量. 測(cè)量硅片厚度：0.04-4.0MM, 硅片檢測(cè)下限：1.0X1016CM-3(常溫)

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