氣體分析儀-對(duì)高純氣體分析的探討

目前高純氣體分析的形式

高純氣體中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn).

① 熱導(dǎo)檢測(cè)器TCD 目前國(guó)內(nèi)在高純氣體分析領(lǐng)域多數(shù)采用的熱導(dǎo)(TCD)檢測(cè)器由于靈敏度有限,很難測(cè)定5ppm以下的雜質(zhì);

② 氧化鋯檢測(cè)器 氧化鋯檢測(cè)器由于是一種選擇性的檢測(cè)器,只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì);

③ 氬離子檢測(cè)器 氬離子檢測(cè)器又往往帶有放射源,均不能達(dá)到高純氣體分析的基本要求.隨著國(guó)內(nèi)高純氣體行業(yè)的發(fā)展和氣體用戶對(duì)氣體純度的要求越來越高,以上幾種檢測(cè)器已經(jīng)不能完成對(duì)高純氣體中微量雜質(zhì)的檢測(cè).

④ 電子捕獲檢測(cè)器ECD 此檢測(cè)器靈敏度高，卻含有放射源，對(duì)人體有害，一般單位未經(jīng)許可不允許使用。

⑤ 氦離子檢測(cè)器 HID 從前使用的HE離子檢測(cè)大都是進(jìn)口的，進(jìn)口的氦離子報(bào)價(jià)100多萬，價(jià)格比較貴。

新的發(fā)展趨勢(shì)

至南京科捷分析儀器有限公司自主研發(fā)出脈沖放電氦離子化氣相色譜儀，并申請(qǐng)國(guó)家(：ZL2006 2 0074774.X)后，此儀器對(duì)高純氣體分析有很好的響應(yīng)，國(guó)內(nèi)能檢測(cè)到PPb級(jí)含量的檢測(cè)器。相比以前常使用的檢測(cè)器，他的優(yōu)點(diǎn)在于：

檢測(cè)器種類          通用性          靈敏度            線性范圍     載氣                        是否明火

TCD熱導(dǎo)檢測(cè)器        通用         低           一般      一種                            否

FID氫火焰檢測(cè)器      對(duì)特定氣體        高         一般      氫氣、空氣、氮?dú)饣蚝馊N       是

HID氦離子檢測(cè)器     通用         很高         寬        氦氣                             否