半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng) VIEW MicroLine 300半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng) VIEW MicroLine 300 VIEW MicroLine 300MicroLine 臨界尺寸測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)用于半導(dǎo)體和MEMS晶圓以及光掩模CD量測(cè)。Microline 系列可自動(dòng)測(cè)量線寬，迭置重合，和其他關(guān)鍵尺寸。

東莞市天測(cè)光學(xué)設(shè)備有限公司（TianCe Optical Equipment Co.,LTD.）是一家專業(yè)從事測(cè)量?jī)x器銷售和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。公司坐落在中國(guó)制造業(yè)名城廣東省東莞市.公司本著“誠(chéng)信、專業(yè)、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新”的經(jīng)營(yíng)理念，堅(jiān)持“以質(zhì)量求生存、以信譽(yù)求發(fā)展”為企業(yè)宗旨,為客戶提供高質(zhì)低價(jià)的產(chǎn)品和服務(wù),獲得珠三角客戶廣泛好評(píng)。
公司專業(yè)從事美國(guó)QVI產(chǎn)品、OGP影像測(cè)量?jī)x，VIEW影像測(cè)量?jī)x（中國(guó)區(qū)總代）、法國(guó)Keron 關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、等著名品牌測(cè)量?jī)x器的銷售、安裝、維修、校正、保養(yǎng)、升級(jí)等服務(wù)。公司擁有完善的樣品測(cè)試中心和方案評(píng)估實(shí)驗(yàn)室,可為客戶提供完善的測(cè)量解決方案,公司附設(shè)200平米的機(jī)器展示中心,可為企業(yè)，學(xué)校及研究機(jī)構(gòu)提供三維尺寸測(cè)量，三維激光掃描，測(cè)量?jī)x應(yīng)用培訓(xùn)等服務(wù)。

半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng) VIEW MicroLine 300


半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng) VIEW MicroLine 300
半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng) VIEW MicroLine 300

MicroLine-300是一款桌上型半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng)。

主要技術(shù)參數(shù)：

◆    測(cè)量范圍(XYZ)：標(biāo)準(zhǔn)：200×200×25mm；可選：30030025
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量精度：10nm(100 鏡頭)；Z軸聚焦范圍：25 mm
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量范圍：0.5um~400um；
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量重復(fù)性(100 物鏡)：  晶圓上<0.010um(1δ)；
掩模板上0.005um(1δ)；

◆    zui大承重：2kg

◆    標(biāo)配鏡頭10，可選鏡頭：5X, 20, 50, 100

MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .

The main technical parameters :

◆ X,Y,Z Measuring Range (mm):   standard :20020025                      optional :  30030025

◆ The field measurement accuracy ：10nm （100 lens ）          Z Foucsing Range (mm)     :   25

◆ The field measurement range ：0.5um~400um；

◆ The field measurement repeatability （100 lens）：on wafer < 0 0.010m(1δ)；

on mask plate 0.005um(1δ)；

◆ Max Recommanded Load      :   2kg

◆  Lens ： standard ：10

optional ：5X，20，50，100。

桌上型半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng) VIEW MicroLine 300

MicroLine 系列 主要用于測(cè)量半導(dǎo)體、MEMS 晶圓、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多層套刻、圓、對(duì)接誤差等)量測(cè)。
MicroLine 臨界尺寸測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)用于半導(dǎo)體和MEMS晶圓以及光掩模CD量測(cè)。Microline 系列可自動(dòng)測(cè)量線寬，迭置重合，和其他關(guān)鍵尺寸。

MicroLine 裝備有高性能光學(xué)顯微鏡，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可測(cè)量0.5 微米到400 微米大小的產(chǎn)品，測(cè)量精度和重復(fù)性在10nm （1  σ ，100倍物鏡）。

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