MOS電容CV特性測(cè)試實(shí)驗(yàn)平臺(tái)主要由源表、LCR表、矩陣開關(guān)和上位機(jī)軟件組成。LCR表支持的測(cè)量頻率范圍在0.1Hz~1MHz，源表(SMU)負(fù)責(zé)提供可調(diào)直流電壓偏置，通過(guò)矩陣開關(guān)加載在待測(cè)件上，內(nèi)置自動(dòng)化CV測(cè)試軟件，包含C-V（電容-電壓），C-T（電容-時(shí)間），C-F（電容-頻率）等多項(xiàng)測(cè)試測(cè)試功能;

武漢普賽斯儀表自主研發(fā)的臺(tái)式數(shù)字源表、插卡式源表、窄脈沖電流源、VCSEL測(cè)試系統(tǒng)等，填補(bǔ)國(guó)產(chǎn)空白。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的測(cè)試工藝，為客戶提供模塊化硬件、高效驅(qū)動(dòng)程序和高效算法軟件組合，幫助用戶構(gòu)建自定解決方案。為半導(dǎo)體封測(cè)廠家提供相關(guān)測(cè)試儀表、測(cè)試平臺(tái)，以及相關(guān)技術(shù)服務(wù)，滿足行業(yè)對(duì)測(cè)試效率、測(cè)試精度，以及低成本的挑戰(zhàn)。

武漢普賽斯將以服務(wù)客戶為中心，追求可持續(xù)發(fā)展，精益求精，堅(jiān)持不懈，努力將自身打造成行業(yè)標(biāo)桿。

普賽斯儀表www.whpssins.com

武漢普賽斯電子技術(shù)有限公司是一家高科技企業(yè)，專業(yè)研究和開發(fā)光通信器件產(chǎn)線監(jiān)測(cè)和測(cè)試方案和自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備。產(chǎn)品覆蓋CHIP、BAR、TO、OSA等器件、光收發(fā)模塊、BOB等生產(chǎn)線?？蛻舭ǎ喝A為、海思、中興、光迅、海信、正源光子、旭創(chuàng)等，公司旨在為光電器件生產(chǎn)企業(yè)提供服務(wù)，針對(duì)產(chǎn)線生產(chǎn)的痛點(diǎn)問(wèn)題，模擬現(xiàn)實(shí)應(yīng)用環(huán)境，進(jìn)行半導(dǎo)體光器件性能指標(biāo)生產(chǎn)監(jiān)測(cè)和測(cè)試，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程實(shí)時(shí)可監(jiān)控、可追溯。具有綜合性、完備性、穩(wěn)定性、半自動(dòng)化或自動(dòng)化等特點(diǎn)，從而提高用戶產(chǎn)線產(chǎn)品的生產(chǎn)效率、可靠性、穩(wěn)定性、一致性。

 

概述

電容-電壓(C-V)測(cè)量廣泛用于測(cè)量半導(dǎo)體參數(shù)，尤其是MOS CAP和MOSFET結(jié)構(gòu)。MOS(金屬-氧化物-半導(dǎo)體)結(jié)構(gòu)的電容是外加電壓的函數(shù)，MOS電容隨外加電壓變化的曲線稱之為C-V曲線（簡(jiǎn)稱C-V特性），C-V曲線測(cè)試可以方便的確定二氧化硅層厚度dox、襯底摻雜濃度N、氧化層中可動(dòng)電荷面密度Q1、和固定電荷面密度Qfc等參數(shù)。

MOS電容CV特性測(cè)試實(shí)驗(yàn)平臺(tái)

普賽斯半導(dǎo)體功率器件C-V測(cè)試系統(tǒng)主要由源表、LCR 表、矩陣開關(guān)和上位機(jī)軟件組成。LCR表支持的測(cè)量頻率范圍在0.1Hz~1MHz，源表(SMU)負(fù)責(zé)提供可調(diào)直流電壓偏置，通過(guò)矩陣開關(guān)加載在待測(cè)件上。

 

進(jìn)行C-V 測(cè)量時(shí)，通常在電容兩端施加直流偏壓，同時(shí)利用一個(gè)交流信號(hào)進(jìn)行測(cè)量。一般使用的交流信號(hào)頻率在10KHz 到1MHz   之間。所加載的直流偏壓用作直流電壓掃描，掃描過(guò)程中測(cè)試待測(cè)器件待測(cè)器件的交流電壓和電流，從而計(jì)算出不同電壓下的電容值。

系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)

• 頻率范圍寬：頻率范圍10Hz~1MHz連續(xù)頻率點(diǎn)可調(diào)；

• 高精度、大動(dòng)態(tài)范圍：提供0V~3500V偏壓范圍，精度0.1%；

• 內(nèi)置CV測(cè)試：內(nèi)置自動(dòng)化CV測(cè)試軟件，包含C-V（電容- 電壓），C-T（電容- 時(shí)間），C-F（電容 - 頻率）等多項(xiàng)測(cè)試測(cè)試功能;

• 兼容IV測(cè)試：同時(shí)支持擊穿特性以及漏電流特性測(cè)試；

• 實(shí)時(shí)曲線繪制：軟件界面直觀展示項(xiàng)目測(cè)試數(shù)據(jù)及曲線，便于監(jiān)控；

• 擴(kuò)展性強(qiáng)：系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)需求靈活搭配；

  基本參數(shù)

典型配置

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