JKZC-DN系列增強(qiáng)型探針臺(tái)

產(chǎn)品/服務(wù)：JKZC-DN系列增強(qiáng)型探針臺(tái)
單價(jià)：面議
更新日期：2024-09-18
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

JKZC-DN系列增強(qiáng)型探針臺(tái)是我司一款增強(qiáng)型晶圓測(cè)試探針臺(tái)，最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測(cè)試。此系列探針臺(tái)釆用高剛性顯微鏡龍門結(jié)構(gòu)，顯微鏡可X-Y-Z方向進(jìn)行精密位移調(diào)節(jié)?？ūP具備上下調(diào)節(jié)功能,可以使探針與樣品快速分離，提高測(cè)試效率，在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了廣泛運(yùn)用，配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表,可以完成集成更多...

產(chǎn)品詳細(xì)介紹

JKZC-DN系列增強(qiáng)型探針臺(tái)

產(chǎn)品概要

JKZC-DN系列增強(qiáng)型探針臺(tái)是我司一款增強(qiáng)型晶圓測(cè)試探針臺(tái)，最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測(cè)試。此系列探針臺(tái)釆用高剛性顯微鏡龍門結(jié)構(gòu)，顯微鏡可X-Y-Z方向進(jìn)行精密位移調(diào)節(jié)?？ūP具備上下調(diào)節(jié)功能,可以使探針與樣品快速分離，提高測(cè)試效率，在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了廣泛運(yùn)用，配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表,可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測(cè)試/管芯晶圓LED/LCD/太陽(yáng)能電池行業(yè)的測(cè)試。此系列探針臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)1μm以上的Pad電極測(cè)試。

JKZC-DN系列增強(qiáng)型探針臺(tái)技術(shù)特點(diǎn)

?顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動(dòng)升降，保證高質(zhì)量的光學(xué)成像；

?卡盤同時(shí)具備快速和微調(diào)升降，便于樣品和探針快速分離，也可以加載探針卡；

?可升級(jí)性強(qiáng)，可升級(jí)卡盤360度快速移動(dòng)，可升級(jí)光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等。

JKZC-DN系列增強(qiáng)型探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào) 技術(shù)參數(shù)		JKZC-DN4	JKZC-DN6	JKZC-DN8	JKZC-DN12
探針臺(tái)臺(tái)體	主體材料	航空鋁	航空鋁	航空鋁	航空鋁
	整機(jī)尺寸（mm）	580L480W620H	630L530W620H	700L580W620H	800L650W620H
	重量	50kg	60kg	80kg	120kg
	自適應(yīng)減震系統(tǒng)	自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，可有效過濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾
	卡盤大小	4",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)	6",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)	8",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)	12",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
	卡盤XY5S行程	4"*4"，精度 10um	6"*6"，精度 lOurm	8"* 8"，精度	12"*12，精度 10um
	卡盤Z軸行程	快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米
	卡盤材質(zhì)	不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻
	卡盤吸附方式	真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）
	背電極測(cè)試功能	卡盤鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能
	其它功能	帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級(jí)，ChJKZC-UCk360度快速移動(dòng)（選件）
針座平臺(tái)	材質(zhì)	U型平臺(tái)，Q235鍍第帶接地端子
	大小	最多可放置4?6個(gè)探針座最多可放置8~10個(gè)探針座
■mkZB系統(tǒng)	顯微鏡類型	體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
	倍率范圍	16X~200X/40X~280X/20X~4000X
	顯微鏡行程	具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸2英寸2英寸，精度lum
	CCD成像系統(tǒng)	2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能
探針座	種類	絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座
	X-Y-Z行程	12.5mm-12.5mm-12.5mm
	機(jī)械精度	0.5um/0.7um/2um
夾具	漏電精度接口形式	同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA
		同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口
其它	選件	ChJKZC-UCk360度快速移動(dòng)/屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率
	電力需求	220V/50HZ

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