標(biāo)準(zhǔn)探針臺(tái)/JKZC-DM系列基礎(chǔ)型探針臺(tái)
|產(chǎn)品概要
JKZC-DM系列探針臺(tái)是我司一款基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測(cè)試探針臺(tái)。其結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計(jì)，價(jià)格實(shí)惠，配置靈活，極具性價(jià)比。在高等院校教學(xué)和小型實(shí)驗(yàn)室科研過程中得到了廣泛運(yùn)用，配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表，用于測(cè)試各類器件的IV、CV、l-t、V-t,光電信號(hào)，1/f噪聲測(cè)試，器件表征測(cè)試，RF射頻等。如 果您的測(cè)試器件pad電極大于50um,此系列探針臺(tái)是。
|技術(shù)特點(diǎn)
?整機(jī)一體化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊占地小，可放置于手套箱內(nèi)使用；
?自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，可有效過濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾；
? U型平臺(tái)鍍鎳設(shè)計(jì)，增大針座加載空間的同時(shí)還提高了針座平臺(tái)和針座之間的吸附力。
詳細(xì)參數(shù)
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產(chǎn)品型號(hào) 技術(shù)參數(shù) |
JKZC-DM4 |
JKZC-DM6 |
JKZC-DM8 |
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探針臺(tái)臺(tái)體 |
主體材料 |
航空鋁 |
航空鋁 |
航空鋁 |
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整機(jī)尺寸（mm） |
500L*380W*520H |
550L*420W*520H |
600L*480W*520H |
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重量 |
30kg |
35kg |
50kg |
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自適應(yīng)減震系統(tǒng) |
自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，可有效過濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾 |
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卡盤大小 |
4英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) |
6英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) |
8英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) |
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卡盤XY軸行程 |
4英寸*4英寸，精度10um |
6英寸*6英寸，精度10um |
6英寸*6英寸，精度10um |
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卡盤Z軸行程 |
快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度丄微米（選件） |
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卡盤材質(zhì) |
不銹鋼鍍金，具備小的接觸電阻 |
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卡盤吸附方式 |
真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） |
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背電極測(cè)試功能 |
卡盤鍍金，電學(xué)懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 |
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其它功能 |
帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級(jí) |
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針座平臺(tái) |
材質(zhì) |
U型平臺(tái)，Q235鍍療，帶接地端子 |
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大小 |
多可放置4個(gè)探針座 |
多可放置6個(gè)探針座 |
多可放置8個(gè)探針座 |
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顯7F系統(tǒng) |
顯微鏡類型 |
體式顯微鏡/視頻顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) |
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倍率范圍 |
16X~200X/40X~280X |
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調(diào)焦范圍 |
50.8mm |
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顯微鏡移動(dòng) |
顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，帶2英寸顯微鏡調(diào)焦機(jī)構(gòu)，帶顯示器支架 |
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CCD成像系統(tǒng) |
2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能 |
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探針座 |
種類 |
絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座 |
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X-Y-Z行程 |
12.5mm-12.5mm-12.5mm |
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機(jī)械精度 |
0.5um/0.7um/2um |
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夾具 |
漏電精度 |
同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA |
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接口形式 |
同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 |
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其它 |
選件 |
屏蔽箱/防震桌/射頻系統(tǒng)/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬(wàn)向支架等 |
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電力需求 |
220V/50HZ |
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