非標(biāo)探針臺

I (1)微型探針臺

整機(jī)外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mm H,重量:約10 kg；

雙探針座平臺鍍鏢設(shè)計(jì)，提高了針座平臺和針座之間的吸附力；

ChJKZC-UCk XY微分頭設(shè)計(jì)，行程25mm*25mm,精度2um；

ChJKZC-UCk大?。?英寸，中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均控制；

卡盤電學(xué)懸空，帶4mm香蕉頭插口,可以作為背電極使用；

臺體底板帶高性能防震海綿，可一定程度減小外界震動(dòng)對測試的干擾;

整機(jī)人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作簡單，使用便捷。

| (2)倒裝手動(dòng)測試夾具

可給樣品加載DC或者RF信號；

樣品可在0~180度任意角度內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并固定；

具備微調(diào)功能，精度0.1度；

玻璃樣品載臺，高透光性；

可無磁化設(shè)計(jì)，在光學(xué),電磁等環(huán)境中運(yùn)用較為廣。

| (3)光電流測試顯微鏡

可在原有光路基礎(chǔ)上可以導(dǎo)入另一路光源，用于輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下電學(xué)性能；

顯微鏡設(shè)計(jì)為雙光路或3光路，其中一路為導(dǎo)入光通路，另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源 ,波長范圍200nm~20000nm,中間可加入多個(gè)波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光 指示。所有模塊均可拉出設(shè)計(jì)，對導(dǎo)入光性質(zhì)無影響；

導(dǎo)入光光路可選擇光時(shí)間開關(guān),控制導(dǎo)入光的輻照時(shí)間，精度1ms,范圍2ms~oo,在控制界面上可對各種參數(shù)進(jìn) 行詳細(xì)設(shè)置，成像光路為同軸照明金相成像，其中一路為1倍成像，可選擇第2路成像，為物鏡的0.25-10倍率，通常在高 低溫測試系統(tǒng)里會用到，同一個(gè)物鏡不切換，得到兩個(gè)不同視野的成像。

(4）TEC制冷卡盤

釆用TEC制冷，無需液氮，使用方便；

可給樣品提供不同溫度環(huán)境；

樣品臺大小可選，防干擾設(shè)計(jì)，具備良好的接地性能;

溫度范圍:負(fù)45°C~150°C,溫度分辨率：0.1°C,

溫度穩(wěn)定性：土 0.3°C；

樣品臺微調(diào)升降，行程O-lOmm,精度10um_o

 (5)磁場探針臺(無磁設(shè)計(jì))

在探針臺的基礎(chǔ)上，可加載三維磁場，多維磁場，磁場強(qiáng)度，精度和間隙均可調(diào)整;

高剛性結(jié)構(gòu)，所有零配件均采用無磁化材料；

可加載高低溫，可同時(shí)進(jìn)行DC和RF測試；

可以旋轉(zhuǎn)，可客制化。

|⑹110g以上高頻測試探針臺

可配合市場主流擴(kuò)頻模塊進(jìn)行超高頻測試；

大行程探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制；

顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動(dòng),擴(kuò)大了顯微鏡視場；

兼容直流與高頻信號；

可以定制,可升級性強(qiáng)；

大可以測試12英寸樣品,探針臺chJKZC-UCk具備升降功能，便于樣品和 探針的快速分離。