SJ6000激光干涉儀通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定

深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年，致力于全尺寸鏈測(cè)量?jī)x器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

中圖儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，擁有一支集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，研發(fā)出了基礎(chǔ)計(jì)量?jī)x器、常規(guī)尺寸光學(xué)測(cè)量?jī)x器、微觀尺寸光學(xué)測(cè)量?jī)x器、大尺寸光學(xué)測(cè)量?jī)x器、常規(guī)尺寸接觸式測(cè)量?jī)x器、微觀尺寸接觸式測(cè)量?jī)x器、行業(yè)應(yīng)用檢測(cè)設(shè)備等全尺寸鏈儀器及設(shè)備，能為客戶提供從納米到百米的測(cè)量解決方案。
中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍及全國(guó)三十多個(gè)省、市、自治區(qū)，產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐、美、東南亞等海外市場(chǎng)，堅(jiān)持為客戶提供高質(zhì)量的產(chǎn)品和服務(wù)。
中圖儀器還將繼續(xù)專注于測(cè)量檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展，自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新，為中國(guó)制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)力量！

現(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學(xué)的幾乎全部知識(shí)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的。激光與普通光源相比，具有一些獨(dú)特的性質(zhì)：?jiǎn)紊院谩⑾喔尚院?、方向性?qiáng)、亮度高。激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量，廣泛應(yīng)用于各領(lǐng)域，已經(jīng)成為人類認(rèn)知的重要工具。

1604年開普勒（J．Kepler）寫出光學(xué)作品，指出光的強(qiáng)度和到達(dá)光源距離的平方成反比。并于1611年出版《折射光學(xué)》。

1801年托馬斯?楊（Thomas Young）用雙狹縫實(shí)驗(yàn)演示了光的干涉現(xiàn)象，即的楊氏雙縫實(shí)驗(yàn)。

1881年邁克爾遜（Albert．A．Michelson）設(shè)計(jì)了的實(shí)驗(yàn)來(lái)測(cè)量“以太”漂移。當(dāng)然沒(méi)測(cè)到漂移，由此導(dǎo)致“以太”說(shuō)的破滅和相對(duì)論的誕生。它次用于干涉儀，以鎘紅譜線與米原器作對(duì)比。正是由于他的工作導(dǎo)致后來(lái)用光的波長(zhǎng)定義“米”。由于他在光學(xué)儀器、光譜和計(jì)量領(lǐng)域的研究工作于1907年獲得諾貝爾獎(jiǎng)。

1960年Maiman研制成功紅寶石激光器，從此開始了光學(xué)技術(shù)飛速發(fā)展的新時(shí)代。從此，激光干涉測(cè)量被廣泛地用于長(zhǎng)度、角度、微觀形貌、轉(zhuǎn)速、光譜等領(lǐng)域，并和微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)集成，成為現(xiàn)代干涉儀。

1982年G．Binning和H．Rohrer研制成功掃描隧道顯微鏡，1986年發(fā)明原子力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎(jiǎng)。從此開始了干涉儀向納米、亞納米分辨率和精度前進(jìn)的新時(shí)代。

由于激光具有的時(shí)間相干性，自問(wèn)世以來(lái)，已研制出多種激光干涉儀：?jiǎn)晤l激光干涉儀、雙頻激光干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀、法布里-珀羅（F-P）干涉儀、X射線干涉儀等。

激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測(cè)量，具有非接觸、無(wú)損檢測(cè)的特點(diǎn)，已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。

中圖儀器近期推出的 SJ6000激光干涉儀 采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、多參數(shù)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)、高速數(shù)字信號(hào)處理系統(tǒng)等技術(shù)，通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)。線性測(cè)長(zhǎng)精度：±0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。

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