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SA-6/SA-8/SA-12 量產(chǎn)型半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺(tái)

深圳市森美協(xié)爾科技有限公司

會(huì)員指數(shù)：

企業(yè)認(rèn)證：

價(jià)格：電議

所在地：廣東

型號(hào)：SA-6/SA-8/SA-12

更新時(shí)間：2023-03-30

瀏覽次數(shù)：1035

公司地址：深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)恒豐工業(yè)城C1棟3樓

18820253316 向先生(先生) 經(jīng)理

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

超高的測(cè)試精度和超快測(cè)試速度，自動(dòng)alignment/找晶圓中心/測(cè)量diesize支持單點(diǎn)測(cè)試和連續(xù)測(cè)試，功能豐富的測(cè)試軟件便捷的儀器接入，升級(jí)自動(dòng)wafer厚度測(cè)量和ID讀卡

公司簡(jiǎn)介

深圳市森美協(xié)爾科技有限公司(SEMISHARE)致力半導(dǎo)體技術(shù)的共享事業(yè)，專(zhuān)注于促進(jìn)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的快速成長(zhǎng)，目標(biāo)成為半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)先的total solution供應(yīng)商。目前設(shè)有半導(dǎo)體儀器營(yíng)銷(xiāo)事業(yè)部和半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠。

SEMISHARE半導(dǎo)體儀器營(yíng)銷(xiāo)事業(yè)部代理的設(shè)備包括半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備：SEMISHARE品牌探針臺(tái)和激光修復(fù)儀，I-V/C-V參數(shù)測(cè)試儀，網(wǎng)絡(luò)分析儀，激光系統(tǒng)，金相顯微鏡，EMMI微光顯微鏡，X射線，C-SAM超聲波探測(cè)，電子顯微鏡。晶圓工藝設(shè)備：晶圓鍵合，去膠，沉積，等離子刻蝕，擴(kuò)散,氧化爐，勻膠機(jī)，光刻機(jī)，磁控濺射機(jī)臺(tái)，電子束蒸渡機(jī)。

SEMISHARE半導(dǎo)體儀器營(yíng)銷(xiāo)事業(yè)部立足中國(guó)深圳，香港，北京，上海，西安等城市為全中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)提供全球最先進(jìn)的半導(dǎo)體檢測(cè)和工藝設(shè)備營(yíng)銷(xiāo)與技術(shù)集成服務(wù)，助力先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)。

SEMISHARE半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠總資產(chǎn)達(dá)5000余萬(wàn)元，廠房面積約5000平方米，現(xiàn)有員工500余人，其中專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員100余人，公司擁有先進(jìn)的生產(chǎn)工藝及品控檢測(cè)，主要設(shè)備有：壓鑄機(jī)、精雕機(jī)、CNC高光機(jī)、光纖激光鐳射機(jī)、CD紋機(jī)、批字機(jī)、各種噸位沖床、線割機(jī)、CNC加工中心、火花機(jī)、各噸位塑膠注塑機(jī)、耐磨測(cè)試儀、人工汗測(cè)試儀等。2009年，我們開(kāi)始研發(fā)制造SEMISHARE品牌探針臺(tái)和激光修復(fù)設(shè)備，激光器獲得國(guó)家專(zhuān)利授權(quán)。

SEMISHARE擁有熱誠(chéng)，專(zhuān)業(yè)的員工和遍及中國(guó)的營(yíng)銷(xiāo)及服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，快速響應(yīng)客戶(hù)需求，提供客戶(hù)化的產(chǎn)品和端到端的服務(wù)，助力客戶(hù)的成功。

目前，SEMISHARE的產(chǎn)品和解決方案已經(jīng)應(yīng)用于中國(guó)100多家客戶(hù)，服務(wù)中國(guó)半導(dǎo)體研發(fā)機(jī)構(gòu)前50強(qiáng)中的40多家。

展開(kāi)

產(chǎn)品說(shuō)明

量產(chǎn)型半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺(tái)
型號(hào)	SA-6/SA-8/SA-12	外形	1500（長(zhǎng)）1700（寬）1100(高)
重量	1700kg	電力需求/功率	220VAC±10V/50Hz/2.2KW
規(guī)格參數(shù)	能夠測(cè)試的晶圓直徑	6,”8”,12”
	晶圓厚度	300≤T≤1000um（標(biāo)準(zhǔn)） 300≧T(薄片機(jī)型）
	晶圓厚度偏差	50um
	Index time	300ms(標(biāo)準(zhǔn)速度， die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移動(dòng)的時(shí)間)
	Chuck 具備5軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)	（X/Y/Z/theta/F）
	X-Y軸行程	380mm, 高速度300mm/s, 分辨率0.1um
	XY全行程機(jī)械定位精度	±2um（環(huán)境溫度在±1°以?xún)?nèi)波動(dòng)時(shí)）
	XY大速度	300mm/s
	Chuck平面度	≤5 um
	Z軸行程	37mm，探針?lè)蛛x高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm
	Z軸移動(dòng)解析度	0.1um
	Z軸定位精度	±2um
	Theta 軸	±5°/0.0001°
	光柵尺	0.1um光柵尺
	預(yù)對(duì)位平臺(tái)	光學(xué)原理檢測(cè)，平邊或者notch ±1°定位精度
	晶圓機(jī)械手	陶瓷機(jī)械手，cassette *1
	晶圓裝載單元	一個(gè)升降單元，預(yù)對(duì)位單元，晶圓傳輸子單元以及他們的接口
	自動(dòng)對(duì)位系統(tǒng)	自動(dòng)水平掃描、自動(dòng)測(cè)試點(diǎn)定位、自動(dòng)測(cè)試中心定位
	自動(dòng)上下片系統(tǒng)	料盒安全保護(hù)、晶圓定位邊預(yù)對(duì)準(zhǔn)
	對(duì)位單元	pattern matching
	位移傳感器	采用靜電容傳感器，分辨率 2um （option)
	照明	同軸鹵素?zé)粽彰骰?/span>LED光源
	視場(chǎng)	低倍情況：4.93.6mm 中倍情況：10.72mm 高倍情況：0.49*0.36mm
	PC配置	I5CPU，4G內(nèi)存，128G固態(tài)硬盤(pán)等
	LCD 顯示器	對(duì)位顯示為黑白，其他顯示為彩色，中文
	鍵盤(pán)	單元大小 15*15mm, 46 字母數(shù)字
	報(bào)警器(三色燈)	紅，黃，綠
	操作場(chǎng)地要求	2200mmX2200mm
	操作界面	Windows中文操作界面，中文MAPING動(dòng)態(tài)顯示
	標(biāo)記	上下標(biāo)記，標(biāo)記可以實(shí)時(shí)或者離線標(biāo)記，標(biāo)記耗時(shí)15~300ms，采用ink或者Laser
	可以采用的cassette形式	FOUP 12/8/6”(13或者25片)；light FOUP 12/8/6”(13或者25片)，12/8/6” open cassette
可選附件	自動(dòng)磨針臺(tái)	可以兼容高頻測(cè)試頭	晶圓ID 識(shí)別功能
	可以匹配自動(dòng)晶圓盒取放設(shè)備（AGV or OHT）		直接和晶圓傳輸控制電腦或者服務(wù)器通訊
	FOUP(front open unified Pod)有別于普通open cassette , 帶有潔凈氣體單元（mini environment），可以在晶圓傳輸過(guò)程保持潔凈在Class100潔凈室里面，探針臺(tái)內(nèi)部可以達(dá)到Class 1“主體包括：控制盒，TTL，RS232，GBIP測(cè)試機(jī)接口

本頁(yè)產(chǎn)品地址：http://18bearing.com/sell/show-8407445.html

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