產(chǎn)品簡(jiǎn)介
對(duì)應(yīng)晶圓的微植球自動(dòng)產(chǎn)線系統(tǒng)??蓪?shí)現(xiàn)上料、刷膠、植球、檢查修補(bǔ)和下料全程自動(dòng)化,大幅提高生產(chǎn)效率
公司簡(jiǎn)介
北京拓普升科技有限公司由技術(shù)扎實(shí)、經(jīng)驗(yàn)豐富的電子
展開(kāi)
產(chǎn)品說(shuō)明
1)晶圓尺寸:6/8/12吋
2)球徑:50-300um
3)最小球間距:100um(直徑50um球)
4)上/下料:料盒,FOUP對(duì)應(yīng)
可實(shí)現(xiàn)晶圓從上料到下料的全程自動(dòng)化生產(chǎn),各工序同時(shí)進(jìn)行,大幅提高效率;可連接回流爐、清洗機(jī);可對(duì)應(yīng)硅晶圓和定制化晶圓;可選配SECS/GEM,OTH,AGV
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