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價格:電議
所在地:北京
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更新時間:2022-03-01
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公司地址:北京市昌平區(qū)回龍觀西大街115號龍冠大廈3樓
王新波(先生)
可一次性檢查第三代半導(dǎo)體 SIC 等材料表面,背面和內(nèi)部的缺陷,可探測最小缺陷為100 納米,主要用于半導(dǎo)體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內(nèi)部、背面的缺陷檢查 。
列真公司在半導(dǎo)體光罩檢測設(shè)備上積累了獨自技術(shù), 主產(chǎn)品 LODAS ?系列具有日本專利權(quán)的激光檢測技術(shù),可同時探測收集激光的反射光,透射光以及共聚焦,可一次性檢查第三代半導(dǎo)體 SIC 等材料表面,背面和內(nèi)部的缺陷,可探測最小缺陷為100 納米,主要用于半導(dǎo)體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內(nèi)部、背面的缺陷檢查 。將此項技術(shù)運用于第三代半導(dǎo)體材料的缺陷檢查,將提升量產(chǎn)成品率將具有重要意義。
應(yīng)用: SiC、GaN
半導(dǎo)體光罩(石英玻璃與涂層)、
石英Wafer Si Wafer
HDD Disk LT Wafer
藍寶石襯底、
EUV光罩、
光罩防塵膜