愛(ài)義信 HMDS真空烘箱 HMDS預(yù)處理烘箱HMDS涂到樣品表面后，經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷?，此疏水性能夠很好的與光刻膠結(jié)合，增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用

愛(ài)義信工業(yè)科技（上海）有限責(zé)任公司（AIYIXIN industrial technology Co. , Ltd.）是一家集生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)于一體的環(huán)境試驗(yàn)箱、工業(yè)級(jí)烘箱與防潮箱產(chǎn)品及提供環(huán)境溫濕度管理專(zhuān)業(yè)解決方案的供應(yīng)商，一直致力于工業(yè)級(jí)溫濕度控管設(shè)備的設(shè)計(jì)、研發(fā)與生產(chǎn)，憑借的溫濕度控制技術(shù)與完善的售后服務(wù)體系贏得了業(yè)內(nèi)眾多用戶(hù)好評(píng)，產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)日本、歐美，東南亞等十幾個(gè)國(guó)家和地區(qū)。 公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)由一批多年從事熱工、真空、構(gòu)造、電控等行業(yè)的專(zhuān)業(yè)工程技術(shù)人員構(gòu)成，擁有的研發(fā)和設(shè)計(jì)能力。且公司會(huì)持續(xù)投入研發(fā)資金，并吸收國(guó)內(nèi)外的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，以保持行業(yè)的技術(shù)。 公司以“存愛(ài) 從義 守信 ”為企業(yè)文化，本著“誠(chéng)信為本，服務(wù)至上”的經(jīng)營(yíng)宗旨，“以質(zhì)量求生存，以創(chuàng)新求發(fā)展”的經(jīng)營(yíng)理念，不斷進(jìn)行產(chǎn)品的技術(shù)創(chuàng)新和品質(zhì)提升，完善售后服務(wù)體系，以高質(zhì)量、高效率、高標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品和服務(wù)來(lái)滿(mǎn)足客戶(hù)需求。

愛(ài)義信 HMDS真空烘箱 HMDS預(yù)處理烘箱愛(ài)義信 HMDS真空烘箱 HMDS預(yù)處理烘箱愛(ài)義信 HMDS真空烘箱 HMDS預(yù)處理烘箱產(chǎn)品應(yīng)用：  晶圓勻膠前襯底助黏、“增附”處理

對(duì)于大部分光刻膠與Si襯底而言，其粘附性一般都是不錯(cuò)的，但是在光刻中，通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底，這類(lèi)襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想，這會(huì)導(dǎo)致后續(xù)的光刻顯影環(huán)節(jié)出現(xiàn)“裂紋”甚至是漂膠等問(wèn)題。因此必須通過(guò)工藝手段改善，這個(gè)步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

以石英、玻璃或硅表面的氧化物（自然氧化）的形式存在的二氧化硅以及大多數(shù)金屬在暴露于大氣中在一定的下濕度足夠長(zhǎng)時(shí)間后在其表面形成極性O(shè)H鍵。這種襯底是親水性的，因此對(duì)光刻膠的非極性或低極性樹(shù)脂分子具有較差的親和力。為了使這樣的襯底表面具有疏水性，可以用化學(xué)方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上。

HMDS與Si原子在無(wú)氧表面結(jié)合，與氧化基表面的氧原子(如有必要，OH基團(tuán)分解)結(jié)合，釋放出氨。非極性甲基直接隔離襯底表面形成疏水表面，與光刻膠具有良好的潤(rùn)濕性和附著力。

工作原理：

在室溫下，HMDS蒸汽通過(guò)干燥的氮?dú)庠凇捌鹋萜鳌敝羞\(yùn)輸，然后傳遞到加熱的(75-120°C)基質(zhì)中，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。

如果液體的HMDS被直接旋涂在襯底上，HMDS層只能起到物理上的粘附層的作用，并不能改善粘附性；其次，HMDS層在前烘過(guò)程中釋放出氨，從襯底附近的進(jìn)入交聯(lián)的光刻膠層中，從而抑制顯影過(guò)程。

產(chǎn)品特性：

外觀(guān)結(jié)構(gòu)：

★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆，工作室采用SUS316#潔凈不銹鋼板滿(mǎn)焊、耐高溫密封處理，加強(qiáng)型結(jié)構(gòu)，確保箱體高壓無(wú)形變。

★工作室高氣密性，氣體泄漏量可達(dá)100pa/h。

★雙層防爆鋼化玻璃觀(guān)測(cè)窗，10mm防彈防爆玻璃內(nèi)門(mén)。

★隔熱層采用100mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料，保溫效果極佳。

★門(mén)框密封采用無(wú)氟硅橡膠密封條，耐高溫，抗老化。

溫控系統(tǒng)：

★不銹鋼異性加熱器，環(huán)繞工作室外壁，四面加熱。

★7寸人機(jī)界面，PLC+PID+SSR控制，SSR無(wú)觸點(diǎn)等周期脈沖調(diào)寬，PID智能演算，自動(dòng)恒溫，超溫抑制，傳感器斷線(xiàn)警報(bào)，斷電記憶，控溫精準(zhǔn)，操控簡(jiǎn)便。

★可依工藝設(shè)置多種運(yùn)行模式

★高精度A級(jí)PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器

安全系統(tǒng)：

★按鍵鎖

★HMDS液位報(bào)警

★超溫保護(hù)

★電流過(guò)載保護(hù)

★相序保護(hù)

★漏電保護(hù)

★接地保護(hù)

規(guī)格參數(shù)：

設(shè)備型號(hào) Model	HMDS-1
控溫范圍 Operating Temp. Range	RT+10~200℃
溫度分辨率 Temperature resolution	0.1℃
溫度波動(dòng)度 Control stability	±0.5℃
真空泵 Vacuum pump	干式真空泵    4L/min
真空度 Vacuum degree	＜133pa（1mmHg/1.33mbar）/    ＞-1012mbar
氮?dú)饨涌? Nitrogen interface	Φ8mm
內(nèi)部尺寸 Chamber size	W450*D450*H450mm
外部尺寸 Overall size	W1100*D800*H1500mm
層架 Number of pallets	2PSC
電源 Power supply	AC380V 50HZ
功率 Heating power	3.5KW
運(yùn)行方式 Operation mode	PLC控制，手動(dòng)設(shè)定工藝流程，自動(dòng)運(yùn)行
操作界面 Operation interface	7寸觸摸屏HMI人機(jī)界面控制器（可編程，帶歷史曲線(xiàn)、USB轉(zhuǎn)存儲(chǔ)功能）

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