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HMDS 愛(ài)義信 HMDS真空烘箱 HMDS預(yù)處理烘箱

愛(ài)義信工業(yè)科技(上海)有限責(zé)任公司
會(huì)員指數(shù): 企業(yè)認(rèn)證:

價(jià)格:電議

所在地:上海

型號(hào):HMDS

更新時(shí)間:2024-04-02

瀏覽次數(shù):869

公司地址:上海市奉賢區(qū)滬杭公路3216號(hào)

韓衛(wèi)(先生) 經(jīng)理 

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

愛(ài)義信 HMDS真空烘箱 HMDS預(yù)處理烘箱HMDS涂到樣品表面后,經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷?,此疏水性能夠很好的與光刻膠結(jié)合,增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用

公司簡(jiǎn)介

愛(ài)義信工業(yè)科技(上海)有限責(zé)任公司(AIYIXIN industrial technology Co. , Ltd.)是一家集生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)于一體的環(huán)境試驗(yàn)箱、工業(yè)級(jí)烘箱與防潮箱產(chǎn)品及提供環(huán)境溫濕度管理專(zhuān)業(yè)解決方案的供應(yīng)商,一直致力于工業(yè)級(jí)溫濕度控管設(shè)備的設(shè)計(jì)、研發(fā)與生產(chǎn),憑借的溫濕度控制技術(shù)與完善的售后服務(wù)體系贏得了業(yè)內(nèi)眾多用戶(hù)好評(píng),產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)日本、歐美,東南亞等十幾個(gè)國(guó)家和地區(qū)。 公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)由一批多年從事熱工、真空、構(gòu)造、電控等行業(yè)的專(zhuān)業(yè)工程技術(shù)人員構(gòu)成,擁有的研發(fā)和設(shè)計(jì)能力。且公司會(huì)持續(xù)投入研發(fā)資金,并吸收國(guó)內(nèi)外的技術(shù)經(jīng)驗(yàn),以保持行業(yè)的技術(shù)。 公司以“存愛(ài) 從義 守信 ”為企業(yè)文化,本著“誠(chéng)信為本,服務(wù)至上”的經(jīng)營(yíng)宗旨,“以質(zhì)量求生存,以創(chuàng)新求發(fā)展”的經(jīng)營(yíng)理念,不斷進(jìn)行產(chǎn)品的技術(shù)創(chuàng)新和品質(zhì)提升,完善售后服務(wù)體系,以高質(zhì)量、高效率、高標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品和服務(wù)來(lái)滿(mǎn)足客戶(hù)需求。
展開(kāi)

產(chǎn)品說(shuō)明

愛(ài)義信 HMDS真空烘箱 HMDS預(yù)處理烘箱愛(ài)義信 HMDS真空烘箱 HMDS預(yù)處理烘箱愛(ài)義信 HMDS真空烘箱 HMDS預(yù)處理烘箱產(chǎn)品應(yīng)用:  晶圓勻膠前襯底助黏、“增附”處理

對(duì)于大部分光刻膠與Si襯底而言,其粘附性一般都是不錯(cuò)的,但是在光刻中,通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類(lèi)襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想,這會(huì)導(dǎo)致后續(xù)的光刻顯影環(huán)節(jié)出現(xiàn)“裂紋”甚至是漂膠等問(wèn)題。因此必須通過(guò)工藝手段改善,這個(gè)步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

以石英、玻璃或硅表面的氧化物(自然氧化)的形式存在的二氧化硅以及大多數(shù)金屬在暴露于大氣中在一定的下濕度足夠長(zhǎng)時(shí)間后在其表面形成極性O(shè)H鍵。這種襯底是親水性的,因此對(duì)光刻膠的非極性或低極性樹(shù)脂分子具有較差的親和力。為了使這樣的襯底表面具有疏水性,可以用化學(xué)方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上。

HMDS與Si原子在無(wú)氧表面結(jié)合,與氧化基表面的氧原子(如有必要,OH基團(tuán)分解)結(jié)合,釋放出氨。非極性甲基直接隔離襯底表面形成疏水表面,與光刻膠具有良好的潤(rùn)濕性和附著力。

工作原理:

在室溫下,HMDS蒸汽通過(guò)干燥的氮?dú)庠凇捌鹋萜鳌敝羞\(yùn)輸,然后傳遞到加熱的(75-120°C)基質(zhì)中,在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。

如果液體的HMDS被直接旋涂在襯底上,HMDS層只能起到物理上的粘附層的作用,并不能改善粘附性;其次,HMDS層在前烘過(guò)程中釋放出氨,從襯底附近的進(jìn)入交聯(lián)的光刻膠層中,從而抑制顯影過(guò)程。

產(chǎn)品特性:

外觀(guān)結(jié)構(gòu):

★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆,工作室采用SUS316#潔凈不銹鋼板滿(mǎn)焊、耐高溫密封處理,加強(qiáng)型結(jié)構(gòu),確保箱體高壓無(wú)形變。

★工作室高氣密性,氣體泄漏量可達(dá)100pa/h。

★雙層防爆鋼化玻璃觀(guān)測(cè)窗,10mm防彈防爆玻璃內(nèi)門(mén)。

★隔熱層采用100mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料,保溫效果極佳。

★門(mén)框密封采用無(wú)氟硅橡膠密封條,耐高溫,抗老化。

溫控系統(tǒng):

★不銹鋼異性加熱器,環(huán)繞工作室外壁,四面加熱。

★7寸人機(jī)界面,PLC+PID+SSR控制,SSR無(wú)觸點(diǎn)等周期脈沖調(diào)寬,PID智能演算,自動(dòng)恒溫,超溫抑制,傳感器斷線(xiàn)警報(bào),斷電記憶,控溫精準(zhǔn),操控簡(jiǎn)便。

★可依工藝設(shè)置多種運(yùn)行模式

★高精度A級(jí)PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器

安全系統(tǒng):

★按鍵鎖

★HMDS液位報(bào)警

★超溫保護(hù)

★電流過(guò)載保護(hù)

★相序保護(hù)

★漏電保護(hù)

★接地保護(hù)

規(guī)格參數(shù):

設(shè)備型號(hào)

Model

HMDS-1

控溫范圍

Operating Temp. Range

RT+10~200℃

溫度分辨率

Temperature resolution

0.1℃

溫度波動(dòng)度

Control stability

±0.5℃

真空泵

Vacuum pump

干式真空泵    4L/min

真空度

Vacuum degree

<133pa(1mmHg/1.33mbar)/    >-1012mbar

氮?dú)饨涌?

Nitrogen interface

Φ8mm

內(nèi)部尺寸

Chamber size

W450*D450*H450mm

外部尺寸

Overall size

W1100*D800*H1500mm

層架

Number of pallets

2PSC

電源

Power supply

AC380V 50HZ

功率

Heating power

3.5KW

運(yùn)行方式

Operation mode

PLC控制,手動(dòng)設(shè)定工藝流程,自動(dòng)運(yùn)行

操作界面

Operation interface

7寸觸摸屏HMI人機(jī)界面控制器(可編程,帶歷史曲線(xiàn)、USB轉(zhuǎn)存儲(chǔ)功能)


本頁(yè)產(chǎn)品地址:http://18bearing.com/sell/show-9383384.html
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