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SCTS-2000系型雙電測(cè)式四探針測(cè)試儀

北京中芯云科儀器有限公司
會(huì)員指數(shù): 企業(yè)認(rèn)證:

價(jià)格:電議

所在地:北京

型號(hào):

更新時(shí)間:2024-06-11

瀏覽次數(shù):785

公司地址:北京市順義區(qū)相悅四季東三區(qū)16號(hào)1403

謝偉華(先生)  

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SCTS-2000系型雙電測(cè)式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)-改進(jìn)形范德堡測(cè)量方法測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大

公司簡(jiǎn)介

北京中芯云科儀器有限公司是一家主要是從事儀器設(shè)備,我們同中國(guó)科學(xué)院,北京科技大學(xué),清華大學(xué),上海交通大學(xué),北京航空航天大學(xué)等建立了合作和研究中心,目前我們主要在安全控制設(shè)備,計(jì)量檢測(cè)設(shè)備,科學(xué)材料研究設(shè)備,3D打印及空間技術(shù)的研發(fā)和銷(xiāo)售,我們將同國(guó)內(nèi)的科研機(jī)構(gòu)和高等院校進(jìn)行廣泛的合作,服務(wù)于國(guó)內(nèi)和國(guó)外廣大客戶(hù),我們將提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品,優(yōu)質(zhì)服務(wù),共同開(kāi)拓進(jìn)取。
展開(kāi)

產(chǎn)品說(shuō)明

 SCTS-2000系型雙電測(cè)式四探針測(cè)試儀

關(guān)鍵詞:雙電測(cè),導(dǎo)電薄膜,導(dǎo)體


SCTS-2000系型雙電測(cè)式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)-改進(jìn)形范德堡測(cè)量方法測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高正確度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類(lèi)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。

一、主要特點(diǎn):

1、根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測(cè)試硅類(lèi)半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類(lèi)等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;

2、也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。

3、換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開(kāi)關(guān)類(lèi)接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。

4、由主機(jī)、選配的四探針探頭、測(cè)試臺(tái)以及PC軟件等部分組成。

      

二、基本技術(shù)參數(shù)

3.1  測(cè)量范圍

    電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm

    方  阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□

    電  阻:1×10-5~2×105 Ω   ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω

3.2  材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)決定和測(cè)試方式?jīng)Q定)

    直   徑:圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,手持方式不限

    SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm,手持方式不限.

    長(zhǎng)(高)度:測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm,    手持方式不限.

    測(cè)量方位: 軸向、徑向均可

3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表:

    (1)量程: 20.00mV~2000mV

    (2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字

3.4  數(shù)控恒流源

   (1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA,1A

   (2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字

3.5  四探針探頭(選配其一或加配全部)

   (1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)

   (2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)

3.6 電源

   輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗:<20W

3.7 外形尺寸:

   主機(jī)  220mm(長(zhǎng))×245 mm(寬)×100mm(高)



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