產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù),半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備。
公司簡(jiǎn)介
成都中冷低溫科技有限公司是一家創(chuàng)新型高科技企業(yè),擁有一支專業(yè)知識(shí)扎實(shí)、實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)豐富的年輕團(tuán)隊(duì),主要成員來(lái)至于國(guó)內(nèi)外知名學(xué)府或科研院所。公司專注于低溫領(lǐng)域,提供常溫到-200℃的全套溫度解決方案,主要生產(chǎn)工業(yè)冷水機(jī)組、低溫制冷機(jī)、深冷水汽捕集泵、高低溫循環(huán)測(cè)試機(jī)、太空模擬倉(cāng),產(chǎn)品應(yīng)用于化工、石油、生物、制藥、真空鍍膜、電子通訊、電池包測(cè)試、集成電路等領(lǐng)域。
展開
產(chǎn)品說(shuō)明
SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備。
SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置,CMP(工藝機(jī)械拋光), 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制,智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制
SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù) 應(yīng)用領(lǐng)域
激光加工、印刷設(shè)備、清潔設(shè)備、焊接設(shè)備、高分析儀、LCD制造設(shè)備、模具溫調(diào)、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備、X射線(數(shù)字式)設(shè)備等
zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller
溫度范圍:-20°C~+90°C
控溫精度:±0.1℃
觸摸屏操作,人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動(dòng)小
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