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發(fā)布緊急求購 |
價(jià)格:電議
所在地:北京
型號(hào):RTS-8型
更新時(shí)間:2017-06-05
瀏覽次數(shù):1433
公司地址:北京市豐臺(tái)區(qū)大紅門陽光左右間西側(cè)甲6號(hào)1027
夏佳麗(女士)
公司秉承著以人為本的管理思想和精益求精的品質(zhì)要求,不斷的完善自我,提高自我,勇敢地面對(duì)激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭,以先進(jìn)的技術(shù)、嚴(yán)格的管理、過硬的質(zhì)量、低廉的價(jià)格、一流的服務(wù)贏得眾多客戶的親睞。
恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔;可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,連接電腦使用帶自動(dòng)測(cè)量功能,自動(dòng)選擇適合樣品測(cè)試電流量程;高速并口通訊接口,連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒(在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí));
RTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
RTS-8型四探針測(cè)試儀前面板
技 術(shù) 指 標(biāo) :
測(cè)量范圍 |
電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展); |
可測(cè)晶片直徑 |
140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)); |
恒流源 |
電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 |
量程及表示形式:000.00~199.99mV; |
四探針探頭基本指標(biāo) |
間距:1±0.01mm; |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) |
(見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 |
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差 |
(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5% |
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 |
≤5% |
測(cè)試模式 |
可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試 |
軟件功能(選配) |
軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖, 也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。 |
計(jì)算機(jī)通訊接口 |
并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5 秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí))。 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 |
溫度:23±2℃; |
可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能調(diào)試,適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測(cè)試。
技 術(shù) 指 標(biāo) :
工作臺(tái)面 370mm*245mm
載物臺(tái)直徑 4"
可選二種放大倍數(shù) *14-90 倍連續(xù)變倍;
*17.5-112.5 倍連續(xù)變倍;
監(jiān)視方式 顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式
光學(xué)參數(shù) 手輪調(diào)焦范圍:60mm;升降調(diào)焦范圍:200mm;
旋轉(zhuǎn)臺(tái) 粗調(diào)范圍:360°;微調(diào)范圍:±10°;zui小刻劃:1°;
銅盤直徑:Φ85mm;緣盤直徑:Φ102mm
三維探針座
探針座 X、Y、Z 方向調(diào)節(jié)范圍:±3.25mm,分辨率±2µ;
三維探針座在工作臺(tái)面可任意位置固定,由磁性開關(guān)控制;
多可布三維探針座 6 個(gè);
探針臂伸出長度:60mm;探針長度:40mm;
探針 探針材質(zhì)硬質(zhì)合金,針尖曲率半徑 2µm;標(biāo)準(zhǔn)配置:主工作臺(tái)、顯微鏡、USB 接口 CCD 攝像頭、三維微調(diào)座 2 個(gè)、探針臂 2 支、探針 2 支。
可選配件:三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵??砂从脩舻膶?shí)際需求進(jìn)行訂做。