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RTS-8型 四探針測(cè)試儀

北京中時(shí)維興儀器設(shè)備經(jīng)營中心
會(huì)員指數(shù): 企業(yè)認(rèn)證:

價(jià)格:電議

所在地:北京

型號(hào):RTS-8型

更新時(shí)間:2017-06-05

瀏覽次數(shù):1433

公司地址:北京市豐臺(tái)區(qū)大紅門陽光左右間西側(cè)甲6號(hào)1027

夏佳麗(女士)  

產(chǎn)品簡介

RTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。

公司簡介

北京中時(shí)維興儀設(shè)備經(jīng)營中心隨公司成立于2016年,坐落于北京市豐臺(tái)區(qū),專業(yè)供應(yīng)及銷售儀器,儀表,電子產(chǎn)品,機(jī)械設(shè)備,金屬制品,家用電器,辦公用品,實(shí)驗(yàn)儀器,氣體檢測(cè),水質(zhì)分析、食品安全、無損檢測(cè)以及各類實(shí)驗(yàn)用儀器,客戶遍及各大領(lǐng)域。

公司秉承著以人為本的管理思想和精益求精的品質(zhì)要求,不斷的完善自我,提高自我,勇敢地面對(duì)激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭,以先進(jìn)的技術(shù)、嚴(yán)格的管理、過硬的質(zhì)量、低廉的價(jià)格、一流的服務(wù)贏得眾多客戶的親睞。

展開

產(chǎn)品說明

 RTS-8型四探針測(cè)試儀

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔;可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,連接電腦使用帶自動(dòng)測(cè)量功能,自動(dòng)選擇適合樣品測(cè)試電流量程;高速并口通訊接口,連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒(在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí));

RTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國   A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
      
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
      
儀器采用了新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
      
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。 

RTS-8型四探針測(cè)試儀前面板

RTS-8型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
      
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技 術(shù) 指 標(biāo) :

 測(cè)量范圍

 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展);  
   
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展); 
   
電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm; 
   
電阻:10-5~105 Ω; 

可測(cè)晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái));
   200mmX200mm(
配S-2B型測(cè)試臺(tái));
   400mmX500mm(
配S-2C型測(cè)試臺(tái));

恒流源

 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
   
分辨力:10μV;
   
輸入阻抗:>1000MΩ;
   
精度:±0.1% ;
   
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、超量程自動(dòng)顯示;

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距:1±0.01mm;
   
針間緣電阻:≥1000MΩ; 
   
機(jī)械游移率:≤0.3%;
   
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
   
探針壓力:5~16 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
  (
按JJG508-87進(jìn)行)

 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤5%

測(cè)試模式

 可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試

軟件功能(選配)

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,

也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。

計(jì)算機(jī)通訊接口

 并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5    秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí))。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度:23±2℃;
   
相對(duì)濕度:≤65%;
   
無高頻干擾;
   
無強(qiáng)光直射;




顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式ST-102E 型探針測(cè)試臺(tái)與測(cè)試儀器配接后可選配ST-102E 型探針測(cè)試臺(tái)

可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能調(diào)試,適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測(cè)試。

技 術(shù) 指 標(biāo) :
工作臺(tái)面 370mm*245mm
載物臺(tái)直徑 4"
可選二種放大倍數(shù) *14-90 倍連續(xù)變倍;
*17.5-112.5 倍連續(xù)變倍;
監(jiān)視方式 顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式
光學(xué)參數(shù) 手輪調(diào)焦范圍:60mm;升降調(diào)焦范圍:200mm;
旋轉(zhuǎn)臺(tái) 粗調(diào)范圍:360°;微調(diào)范圍:±10°;zui小刻劃:1°;
銅盤直徑:Φ85mm;緣盤直徑:Φ102mm
三維探針座
探針座 X、Y、Z 方向調(diào)節(jié)范圍:±3.25mm,分辨率±2µ;
三維探針座在工作臺(tái)面可任意位置固定,由磁性開關(guān)控制;
多可布三維探針座 6 個(gè);
探針臂伸出長度:60mm;探針長度:40mm;
探針 探針材質(zhì)硬質(zhì)合金,針尖曲率半徑 2µm;標(biāo)準(zhǔn)配置:主工作臺(tái)、顯微鏡、USB 接口 CCD 攝像頭、三維微調(diào)座 2 個(gè)、探針臂 2 支、探針 2 支。
可選配件:三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵??砂从脩舻膶?shí)際需求進(jìn)行訂做。



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