MicroLineTM 300影像測(cè)量?jī)x是一款高性能測(cè)量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設(shè)備等關(guān)鍵尺寸的自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)配備了高質(zhì)量光學(xué)顯微鏡和移動(dòng)平臺(tái)，可對(duì)200mm的晶圓上0.5μm到400μm的特征尺寸進(jìn)行全自動(dòng)的視場(chǎng)測(cè)量。

東莞市天測(cè)光學(xué)設(shè)備有限公司蘇州分公司（Tiance optical Suzhou Branch）是一家專業(yè)從事測(cè)量?jī)x器銷售和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。公司總部坐落在中國(guó)制造業(yè)名城江蘇省蘇州市昆山.公司本著“誠(chéng)信、專業(yè)、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新”的經(jīng)營(yíng)理念，堅(jiān)持“以質(zhì)量求生存、以信譽(yù)求發(fā)展”為企業(yè)宗旨,為客戶提供高質(zhì)低價(jià)的產(chǎn)品和服務(wù),獲得珠三角客戶廣泛好評(píng)。 公司專業(yè)從事美國(guó)QVI產(chǎn)品、OGP影像儀、View影像儀（中國(guó)區(qū)總代）、法國(guó)Keron 關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、等國(guó)際著名品牌測(cè)量?jī)x器的銷售、安裝、維修、校正、保養(yǎng)、升級(jí)等服務(wù)。公司擁有完善的樣品測(cè)試中心和方案評(píng)估實(shí)驗(yàn)室,可為客戶提供完善的測(cè)量解決方案,公司附設(shè)200平米的機(jī)器展示中心,可為企業(yè)，學(xué)校及研究機(jī)構(gòu)提供三維尺寸測(cè)量，三維激光掃描，測(cè)量?jī)x應(yīng)用培訓(xùn)等服務(wù)。 

關(guān)鍵尺寸的自動(dòng)化光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

MicroLine^TM 300影像測(cè)量?jī)x是一款高性能測(cè)量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設(shè)備等關(guān)鍵尺寸的自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)配備了高質(zhì)量光學(xué)顯微鏡和移動(dòng)平臺(tái)，可對(duì)200mm的晶圓上0.5μm到400μm的特征尺寸進(jìn)行全自動(dòng)的視場(chǎng)測(cè)量。

n 200 x 200mmX-Y平臺(tái)

n 基于視覺(jué)的自動(dòng)聚焦獲得影像質(zhì)量

n 自動(dòng)照明可編程光強(qiáng)

n 用于測(cè)量透明層、不規(guī)則邊緣的線、厚膜等的強(qiáng)勁性能

n 完全可編程的序列，包括自動(dòng)聚焦和關(guān)鍵尺寸測(cè)量

n 電動(dòng)的6目物鏡轉(zhuǎn)換器，軟件控制

n 可選的透射照明

技術(shù)規(guī)格：

- 測(cè)量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)

- 平臺(tái)運(yùn)行: 交叉滾軸手動(dòng)同軸定位和快速釋放

- 視場(chǎng)內(nèi)的測(cè)量精度: 0.010μm (用100x物鏡)

- 特征尺寸: 視場(chǎng)內(nèi)0.5μm - 400μm

- FOV測(cè)量重復(fù)性: <0.010μm on wafers (用100x物鏡)

<0.005μm on photomasks (用100x物鏡)

- 照明: 石英鹵素?zé)?/span>, 反射光

自動(dòng)照明

- 低噪音CCD VGA格式攝像頭

- 圖像處理60幀每秒

MicroLine 300的典型應(yīng)用包括：

l 晶圓

l 光罩

l MEMS

l 微型組件

測(cè)量類型:

n 關(guān)鍵尺寸:

線寬 Linewidth

節(jié)距 Pitch

間隙 Spacing

n Overlay

Multi-layer registration

Box in box

Circle

Edge roughness

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