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URE-2000A 光刻機(jī)

蘇州汶昌芯片科技有限公司
會(huì)員指數(shù): 企業(yè)認(rèn)證:

價(jià)格:電議

所在地:江蘇 蘇州市

型號(hào):URE-2000A

更新時(shí)間:2018-08-23

瀏覽次數(shù):1040

公司地址:蘇州工業(yè)園區(qū)方洲路128號(hào)

易工(先生)  

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

光電URE-2000A型光刻機(jī)

公司簡(jiǎn)介

蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司(原名:蘇州汶顥芯片科技有限公司)是一家留學(xué)人員回國(guó)創(chuàng)業(yè)的高新科技企業(yè),集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體,技術(shù)力量雄厚,生產(chǎn)設(shè)備先進(jìn),檢測(cè)手段齊全,產(chǎn)品質(zhì)量過(guò)硬。公司建立了完備的微流控芯片研發(fā)與生產(chǎn)中心,配置了三條微流控芯片生產(chǎn)線,包括數(shù)控CNC微加工儀器,軟刻蝕有機(jī)芯片加工系統(tǒng),光刻-掩模無(wú)機(jī)芯片加工系統(tǒng),可以加工生產(chǎn)所有材質(zhì)的芯片,如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。產(chǎn)品涵蓋集成式通用醫(yī)療診斷芯片、集成式通用環(huán)境保護(hù)分析監(jiān)測(cè)芯片、集成式通用食品安全分析檢測(cè)芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數(shù)十個(gè)品種,以及各類科研類芯片,并在生物芯片和化學(xué)芯片領(lǐng)域一直保持技術(shù)和研發(fā)的領(lǐng)先地位,擁有81項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán),其中:已申請(qǐng)發(fā)明專利65件、實(shí)用新型專利7件,注冊(cè)商標(biāo)2件,登記軟件著作權(quán)7件。

展開

產(chǎn)品說(shuō)明

光刻機(jī)產(chǎn)品名稱:

光電URE-2000A型光刻機(jī)

光刻機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):

◆ 曝光面積:150mm×150mm

◆ 分辨力:0.8-1μm(膠厚2μm的正膠)

◆ 對(duì)準(zhǔn)精度:0.6μm

◆ 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍:X:6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 樣片尺寸:直徑15mm-- 150mm;厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均勻性: 3.5%(100mm 范圍); 5%( 150mm范圍)

◆ 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ zui大膠厚:500m(SU8膠,用戶提供勻膠條件)

◆ 光源平行性:3.5

◆ 汞燈功率:1000W(直流)

◆ 曝光設(shè)定方式:定時(shí)(方式0.1s-999.9s任意設(shè)定)

◆ 外形尺寸:1400mm(長(zhǎng))1200mm(寬) 2150mm(高)

 

光刻機(jī)技術(shù)參數(shù) 配置:

(1)曝光頭

◆冷光橢球鏡

◆1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗,長(zhǎng)壽命型)

◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

◆光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1

、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(100個(gè)透鏡)、i線濾光片

、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

◆冷卻風(fēng)扇

◆循環(huán)水冷系統(tǒng)

(2)對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

◆掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

◆樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),自動(dòng)調(diào)

◆承片臺(tái)4個(gè)(2英寸、3英寸、4英寸、6英寸)

◆掩模夾4個(gè)(3英寸、4英寸、5英寸、7英寸)

◆基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

(3)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

◆光源(配備品2只)、電源

◆雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

◆目鏡3對(duì)(10倍、16倍、20倍,共6個(gè))

◆物鏡3對(duì)(4倍、10倍、20倍,共6個(gè))

(4)CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

◆光源(配備品3只)、電源

◆成像光學(xué)系統(tǒng)

◆數(shù)據(jù)采集卡

◆CCD

(5)電控系統(tǒng)

◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

◆單片機(jī)控制系統(tǒng)

◆控制柜桌

◆計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)

(6)氣動(dòng)系統(tǒng)

◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等

◆電磁閥驅(qū)動(dòng)

◆氣動(dòng)儀表

(7)其他附件

◆真空泵一臺(tái)(無(wú)油泵)

◆空壓機(jī)一臺(tái)(靜音泵)

◆管道

(8)技術(shù)資料

◆使用維修說(shuō)明書

◆顯微鏡使用說(shuō)明書

 

 


本頁(yè)產(chǎn)品地址:http://18bearing.com/sell/show-8230733.html
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