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價(jià)格:電議
所在地:江蘇 蘇州市
型號(hào):URE-2000A
更新時(shí)間:2018-08-23
瀏覽次數(shù):1040
公司地址:蘇州工業(yè)園區(qū)方洲路128號(hào)
易工(先生)
蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司(原名:蘇州汶顥芯片科技有限公司)是一家留學(xué)人員回國(guó)創(chuàng)業(yè)的高新科技企業(yè),集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體,技術(shù)力量雄厚,生產(chǎn)設(shè)備先進(jìn),檢測(cè)手段齊全,產(chǎn)品質(zhì)量過(guò)硬。公司建立了完備的微流控芯片研發(fā)與生產(chǎn)中心,配置了三條微流控芯片生產(chǎn)線,包括數(shù)控CNC微加工儀器,軟刻蝕有機(jī)芯片加工系統(tǒng),光刻-掩模無(wú)機(jī)芯片加工系統(tǒng),可以加工生產(chǎn)所有材質(zhì)的芯片,如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。產(chǎn)品涵蓋集成式通用醫(yī)療診斷芯片、集成式通用環(huán)境保護(hù)分析監(jiān)測(cè)芯片、集成式通用食品安全分析檢測(cè)芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數(shù)十個(gè)品種,以及各類科研類芯片,并在生物芯片和化學(xué)芯片領(lǐng)域一直保持技術(shù)和研發(fā)的領(lǐng)先地位,擁有81項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán),其中:已申請(qǐng)發(fā)明專利65件、實(shí)用新型專利7件,注冊(cè)商標(biāo)2件,登記軟件著作權(quán)7件。
光刻機(jī)產(chǎn)品名稱:
光電URE-2000A型光刻機(jī)
光刻機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 曝光面積:150mm×150mm
◆ 分辨力:0.8-1μm(膠厚2μm的正膠)
◆ 對(duì)準(zhǔn)精度:0.6μm
◆ 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍:X:6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆ 樣片尺寸:直徑15mm-- 150mm;厚度0.1mm--8mm
◆ 照明均勻性: 3.5%(100mm 范圍); 5%( 150mm范圍)
◆ 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: 5mm; Y: 5mm; : 6度
◆ zui大膠厚:500m(SU8膠,用戶提供勻膠條件)
◆ 光源平行性:3.5
◆ 汞燈功率:1000W(直流)
◆ 曝光設(shè)定方式:定時(shí)(方式0.1s-999.9s任意設(shè)定)
◆ 外形尺寸:1400mm(長(zhǎng))1200mm(寬) 2150mm(高)
光刻機(jī)技術(shù)參數(shù) 配置:
(1)曝光頭
◆冷光橢球鏡
◆1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗,長(zhǎng)壽命型)
◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
◆光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1
、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(100個(gè)透鏡)、i線濾光片
、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
◆冷卻風(fēng)扇
◆循環(huán)水冷系統(tǒng)
(2)對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
◆掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
◆樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),自動(dòng)調(diào)
◆承片臺(tái)4個(gè)(2英寸、3英寸、4英寸、6英寸)
◆掩模夾4個(gè)(3英寸、4英寸、5英寸、7英寸)
◆基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
(3)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
◆光源(配備品2只)、電源
◆雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
◆目鏡3對(duì)(10倍、16倍、20倍,共6個(gè))
◆物鏡3對(duì)(4倍、10倍、20倍,共6個(gè))
(4)CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
◆光源(配備品3只)、電源
◆成像光學(xué)系統(tǒng)
◆數(shù)據(jù)采集卡
◆CCD
(5)電控系統(tǒng)
◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)
◆單片機(jī)控制系統(tǒng)
◆控制柜桌
◆計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)
(6)氣動(dòng)系統(tǒng)
◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
◆電磁閥驅(qū)動(dòng)
◆氣動(dòng)儀表
(7)其他附件
◆真空泵一臺(tái)(無(wú)油泵)
◆空壓機(jī)一臺(tái)(靜音泵)
◆管道
(8)技術(shù)資料
◆使用維修說(shuō)明書
◆顯微鏡使用說(shuō)明書