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價格:電議
所在地:河南 鄭州市
型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2023-08-17
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公司地址:鄭州高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號6幢11單元3層73號
孟工(先生)
直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜,7寸人機界面,自動手動模式切換控制,最大功率1000w直流磁控濺射
單靶直流磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備,特別適用于實驗室研究固態(tài)電解質及OLED等
單靶直流磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。
所配電源為1000W大功率直流電源,可用于高能量的金屬濺射鍍膜,根據(jù)實驗需求也可以選配其他規(guī)格的直流或者射頻電源來實現(xiàn)各種材料的鍍膜操作。
直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜
直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜技術參數(shù);
控制方式 |
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 |
直流濺射電源 |
鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 |
≤1000W |
輸出電壓電流 |
電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 |
機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 |
≤30Pa |
擋板類型 |
電控 |
真空腔室 |
不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 |
可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 |
8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節(jié)距離 |
40-105mm |
真空測量 |
皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |