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價(jià)格：電議
所在地：廣東 深圳市
型號(hào)：SCG-O
更新時(shí)間：2018-07-03
瀏覽次數(shù)：906
公司地址：深圳市寶安區(qū) 西鄉(xiāng)
董俊克(先生)
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低溫和高溫真空探針臺(tái)
SEMISHARE真空環(huán)境高低溫測(cè)試技術(shù)
以下兩個(gè)應(yīng)用需要真空測(cè)試環(huán)境。
低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測(cè)試：
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，SEMISHARE針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。
SCG-C-4(閉循環(huán))/SCG-O-4(開循環(huán))特點(diǎn)：
載物Chuck 溫度范圍：4K-500K
外置4個(gè)定位針臂，預(yù)留2個(gè)
探針X-Y-Z三方向移動(dòng)，行程：25.4mm，定位精度：10微米
多可以外置6個(gè)定位針臂
載物chuck zui大可到8英寸
雙屏蔽chuck高低溫時(shí)達(dá)到100FA 的測(cè)試精度
針臂定位精度可以升級(jí)為0.7微米
可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測(cè)試
可以選擇防震桌
可以選擇超高真空腔體,限真空到10-10 torr
客戶訂制
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溫控規(guī)格:
機(jī)械規(guī)格
光學(xué)部件規(guī)格
可選附件
防震桌
方形chuck
分子泵組
射頻部件
Chuck可外部移動(dòng)裝置
客戶定制。
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