產(chǎn)品簡介
穩(wěn)定的修復(fù)結(jié)果 功能豐富的軟件超高的修復(fù)精度 可能編輯修復(fù)形狀0.1微米精度的直線電機(jī)平臺(tái) 看上去AOI定位小的損傷 可做多工位設(shè)計(jì)1微米的激光精度 自動(dòng)上下片
公司簡介
半導(dǎo)體測試設(shè)備,晶圓工藝設(shè)備,實(shí)驗(yàn)室方案
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產(chǎn)品說明
SEMISHARE LCVD系列激光修復(fù)系統(tǒng)
1. CVD工作原理:用金屬材料連接在各種不同的制程材質(zhì)上。修補(bǔ)斷線,通孔以減少線缺陷,進(jìn)而提高良率。
CUT工作原理:利用激光切割,熔接功能,修復(fù)短路,斷線,以減少線缺陷,進(jìn)而提高良率。
2. 連線效果
成膜規(guī)格:
材質(zhì):Cr,Mo,W,Al
zui小線寬:2 micron
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