產(chǎn)品簡介
穩(wěn)定的修復結果 功能豐富的軟件超高的修復精度 可能編輯修復形狀0.1微米精度的直線電機平臺 看上去AOI定位小的損傷 可做多工位設計1微米的激光精度 自動上下片
產(chǎn)品說明
SEMISHARE LCVD系列激光修復系統(tǒng)
1. CVD工作原理:用金屬材料連接在各種不同的制程材質上。修補斷線,通孔以減少線缺陷,進而提高良率。
CUT工作原理:利用激光切割,熔接功能,修復短路,斷線,以減少線缺陷,進而提高良率。
2. 連線效果
成膜規(guī)格:
材質:Cr,Mo,W,Al
zui小線寬:2 micron
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